執筆者

クリーンサイエンスジャパン　代表　工学博士　園田　信夫　先生

【略歴】
1973年　三菱電機(株)福岡製作所入社後、塗装・めっきの研究に従事。
1989年　分析技術センター立ち上げ後、半導体製造プロセスでの材料・プロセスの評価分析に従事。この間、分析センター長、品質技術部長歴任
1998年　九州工業大学情報工学部にて「水素プラズマスパッタリングによるSiC薄膜形成」により学位取得(情報工学博士)
2000年　ULSI開発センターにてクリーン化技術グループ立ち上げ先端クリーン化技術開発に従事
2002年　三菱電機(株)パワーデバイス製作所品質保証部にて、アセンブリのクリーン化、静電気対策に従事
2009年　(株)オジックテクノロジーズ、取締役技術本部長
※クリーンルームだけにとらわれない総合的なクリーン化方法についてのセミナー講演多数。

目次

はじめに

第1章　クリーン化技術の基本となる考え方
1　クリーン化技術の目的
2　塵埃対策に対する考え方
3　語源で見る塵埃と清浄の大きさと持つ意味
4　塵埃・異物の大きさの定義
5　PM2.5に見る、浮遊粒子の形状
6　SPMとPM2.5
7　除塵対象の大きさのイメージ
8　クリーン化の4原則
9　クリーンルームの簡単なイメージ
10　クリーンルームの表示

第2章　異物や塵埃の動き
1　製造現場で見かける異物・塵埃
2　非クリーンルーム内へ侵入する塵埃
3　塵埃の6大特徴
4　塵埃の発生由来と付着・吸着の形態
5　作業環境での発塵源
6　どの大きさの塵埃・異物が見えるかのイメージ
7　パーティクル（塵埃）発生のイメージ
8　通行人数と塵埃付着数
9　クリーンルームでも大きな塵埃は問題
10　塵埃の大きさと相関性
11　各気流速度における塵埃の落下と移動
12　粒子の大きさと落下時間
13　浮遊塵埃の運動方程式
14　気流による渦の発生
15　扉の開閉による気圧の変化
16　錆びた金属棒からの金属片の落下

第3章　発塵性の評価データとその意味
1　パッケージエアコン（PAC）からの塵埃飛散
2　材質の組み合わせによる発塵
3　色々な紙類からの発塵
4　皮膚からの発塵
5　素手からの発塵とはんだペーストからの発塵
6　こんな濁音が聞こえると発塵源
7　身の回りの発塵物質
8　Class1000レベルのクリーンルーム内の塵埃
9　喫煙時の発塵
10　床面からのパーティクルの舞い上がり
11　通常の衣服生地の外観比較
12　導電性手袋からの発塵
13　作業手袋からの発塵
14　化粧品やアクセサリーについて
15　通常の紙類や鉛筆について
16　簡易ミニエンのフィルターの効果
17　エアブローと粘着ローラー異物・塵埃の除去効果の比較
18　生地に付着した微粒子のエアブローと粘着ローラーの除去効果の比較
19　電子部品チップのトレー状の異物
20　大気中浮遊塵埃の付着

第4章　無塵服からの発塵
1　無塵服各部からの発塵
2　組立工程の2ピース無塵服からの発塵
3　市販の高清浄度のクリーンルームに対応する無塵服
4　各作業動作で発生する無塵服内外の圧力差
5　アメニティを追及したコンポジット系無塵服の評価
6　無塵服の各部からの発塵
7　自宅洗濯化を前提とした洗濯時の発塵評価
8　導電性無塵服の洗濯回数と表面抵抗値の変化

第5章　拭き取り材について
1　拭き取り材の基本
2　ワイピングクロスの選定のポイント
3　織布タイプのワイピングクロスの帯電
4　マイクロファイバータイプの形状と帯電
5　マイクロファイバータイプの拭き取り性能
6　屋外曝露時付着異物の拭き取り除去率

第6章　静電気について
1　静電気の3原則
2　静電気の基本事項
3　人体帯電と電撃の強さ
4　静電気の摩擦帯電列
5　静電気対策の基本となる減衰時間
6　静電気対策品の抵抗値の範囲
7　静電気と湿度の関係
8　作業台周りの静電気対策のコンセプト
9　無塵服着用時の腕振り歩行動作による人体の帯電
10　カーペット上、靴の種類と人体帯電圧
11　ネジ締め作業動作時の帯電電位
12　乾空によるプラスチックチューブ材の帯電
13　一般作業服の摩擦帯電比較
14　器具備品の静電気対策例
15　椅子の静電気対策
16　掲示板の帯電電位
17　非導電床での台車走行時の帯電量
18　手押し台車のチェーン取り付け効果
19　製造工程での静電気発生場所と静電気対策実施例
20　静電気で吸着した塵埃の吸着力
21　ESAによるパーティクルの付着
22　イオナイザー選定時の留意点
23　イオナイザーの保守・点検と用語
24　Si電極への粒子付着
25　静電気管理基準値のガイドライン
26　現場での静電気対策の基本

第7章　クリーンルームに頼らないクリーン化技術
1　クリーンルームだけに頼らないクリーン化の基本
2　クリーンルームと一般作業室との比較
3　最低限のクリーン化設備について
4　非クリーンルームでのクリーン化アプローチ
5　クリーンルームのないクリーン化のガイドライン
6　SPCクラスとWRCの関係
7　非クリーンルームのクリーン化対策のガイドラインに基づく実施項目

第8章　製造現場でのクリーン化技術
1　持ち込み品の管理
2　ゴミ（塵埃）の見つかりやすいところ
3　装置と設備の配置と注意点
4　製造装置や関連設備で注意項目と保全
5　現場で役立つクリーン化標語
6　非クリーンルームのクリーン化改善事例
7　改善すべき作業者の服装および足の置き方
8　簡易ミニエンブースの導入事例

第9章　作業員の教育
1　クリーン化に求められる姿勢
2　クリーン化教育の重要項目
3　クリーンルームに入ってはいけない人とは
4　作業員の衛生管理の基本
5　クリーンルームの日常管理
6　クリーンルームでの災害

第10章　6Sの見直しと新6S
1　6Sの定義と見直し
2　新6Sの定義に基づく整理とは
3　新6Sの定義に基づく整頓とは
4　新6Sの定義に基づく躾・習慣とは

第11章　作業員とのコミュニケーション

第12章　清掃の基本
1　清掃の基本と考え方
2　清掃の種類と用具、評価
3　掃除方法の基本
4　清掃のその他のチェックポイント
5　掃除の原則と周期
6　各拭き取り方法の効果
7　一方向と往復拭き取りの違い
8　清掃後の異物・塵埃のチェック
9　LED光源を用いた異物・塵埃の見え方
10　塵埃のモニタリングおよび可視化の方法

第13章　クリーン化社内改善委員会について

おわりに