目次
第1章 洗浄の基礎理論
第1節 汚れを除去するメカニズム
1.有機汚れの除去メカニズム
2.粒子汚れの除去メカニズム
3.サブミクロン微粒子除去を目的にした洗浄メカニズム
3.1 二流体噴射洗浄
3.2 水蒸気二流体噴射洗浄
4.有機汚れのドライ洗浄メカニズム
4.1 光洗浄メカニズム
4.2 大気圧プラズマ洗浄メカニズム
5.表層エッチングによる洗浄メカニズム
5.1 ウェットエッチング
5.2 レーザーエッチング
6.機能水洗浄メカニズム
第2節 洗浄の界面科学的解析( ぬれ性と界面自由エネルギー)
1.界面と分子間相互作用
1.1 界面と分子間力
1.2 界面自由エネルギー
2.汚れの種類と付着
3.ぬれと付着
4.油汚れ洗浄のメカニズム
4.1 ローリングアップ機構
4.2 乳化機構
4.3 液晶形成機構
4.4 可溶化機構とマイクロエマルション
4.5 油汚れ洗浄の界面エネルギー解析
5.固体粒子汚れの洗浄
5.1DLVO 理論
第２章 各種洗浄剤の種類とその用途・取り扱いノウハウ
第1節 水系洗浄剤・準水系洗浄剤
1.洗浄剤の分類
2.水系洗浄剤
2.1 水系洗浄剤の特徴
2.1.1 水系洗浄剤の構成要素
2.1.2 界面活性剤
2.1.3 アルカリ・酸
2.1.4 非水系洗浄剤との比較
2.2 水系洗浄剤の用途・取り扱いのポイント
2.2.1 用途
2.2.2 取り扱いのポイント
3.準水系洗浄剤
3.1 準水系洗浄剤の特徴
3.2 準水系洗浄剤の用途・取り扱いのポイント
3.2.1 用途
3.2.2 取り扱いのポイント
第2節 非水系洗浄剤
1.可燃性洗浄剤
1.1 炭化水素系洗浄剤
1.2 アルコール系洗浄剤
2.不燃性洗浄剤
2.1 塩素系洗浄剤
2.2 臭素系洗浄剤
2.3 フッ素系洗浄剤
2.4 環境適合型フッ素系洗浄剤
第３章 洗浄方式・乾燥方式の種類とその適用
第1節 各種洗浄方法の特徴と適用
第1項 超音波
1.洗浄における超音波の役割
2.超音波洗浄のメカニズム
3.超音波洗浄の種類と特徴
4.超音波洗浄と環境改善
第2項 マイクロバブル
1.ファインバブルの主な特性
2.ファインバブルによる洗浄
3.機械部品類の脱脂洗浄
4.超音波振動の併用による洗浄効果
5.半導体の洗浄
6.界面活性剤の添加効果
7.その他の洗浄
第3項 光技術による表面洗浄
1.UV- オゾン洗浄
1.1 エキシマランプについて
1.2 低圧水銀ランプについて
1.3 洗浄原理
2.UV- オゾン洗浄の実用例
2.1 UV 照射光量とUV- オゾン洗浄の効果
2.2 表面洗浄
2.2.1 半導体製造工程
2.2.2 FPD 製造工程
2.3 表面改質
2.3.1 プラスチック材料の貼り合わせ
2.3.2 フィルム
2.4 アッシング
2.4.1 ナノインプリント
2.4.2 デスミア
第4項 プラズマ
1.プラズマの定義と特性
1.1 プラズマとは何か
1.2 プラズマの電離度の見積り方法
2.プラズマ洗浄の原理
2.1 プラズマ洗浄の概要
2.2 低気圧プラズマ処理の電極系の例
2.3 大気圧プラズマによる洗浄
2.4 大気圧プラズマ洗浄の原理
2.5 プラズマ処理の親水化原理と実施例
2.6 リモートプラズマ洗浄とオゾン洗浄
3.プラズマ洗浄の実施の例
3.1 プラズマ―撥水剤複合処理（ガラス表面の実施の例）
3.2 プラズマー耐食剤複合処理（金属表面の実施の例）
第5項 超臨界
1.洗浄溶媒としての超臨界流体
2.超臨界流体洗浄の対象物
3.超臨界流体洗浄の適用
3.1 ケミカルフィルタの洗浄
3.1.1 背景
3.1.2 ケミカルフィルタの洗浄装置
3.1.3 洗浄評価
3.2 ドライクリーニング
3.2.1 背景
3.2.2 ドライクリーニングの洗浄装置
3.2.3 洗浄能力の評価
3.2.4 汚染布
3.2.5 洗浄結果
第2節 乾燥のメカニズムと乾燥方法
1.加熱乾燥
1.1 対流伝熱乾燥：温風乾燥( 熱風乾燥)
1.2 伝導伝熱乾燥( 間接加熱式乾燥)
1.3 放射( 輻射) 伝熱乾燥
1.4 真空乾燥( 減圧乾燥)
2.液切り乾燥
2.1 スピン乾燥
2.2 エアブロー・エアナイフ乾燥
3.置換操作・乾燥
3.1 (溶剤) 水切り乾燥
3.2 水置換乾燥( 水・純水/IPA 置換乾燥)
4.その他の乾燥方式
4.1 ベーパ乾燥
4.2 温水( 温純水) 引き上げ乾燥
4.3 マランゴニ乾燥
5.乾燥時のシミの発生
6.バッチ( 回分) 式、連続式および枚葉式
第４章 汚れの種類・対象別の洗浄方法
第1節 汚れの種類と適した洗浄法・洗浄剤の選び方
1.有機汚れ
1.1 炭化水素系洗浄剤による洗浄
1.2 低沸点有機溶剤による洗浄
1.3 水系洗浄剤による洗浄
1.4 マイクロバブル、ファインバブル洗浄
1.5 機能水洗浄
1.6 光洗浄
1.7 大気圧プラズマ洗浄
1.8 オゾン水洗浄
2.粒子汚れ
2.1 ブラシ洗浄
2.2 噴射洗浄
2.3 超音波洗浄
2.4 メガソニック洗浄
2.5 二流体噴射洗浄
2.6 表層エッチング洗浄
2.7 レーザー洗浄
2.8 水素水洗浄
3.表面汚染金属汚れ
3.1 薬液洗浄
第2節 業種・対象別の洗浄方法
第1項 食品産業における洗浄
1.食品と接触しても良い材質
2.食品と接触する機器の衛生構造
2.1 表面粗さ
2.2 衛生構造
3.開放系装置と密閉系装置の洗浄
3.1 食品産業における洗浄の基本
3.2 開放系装置の洗浄
3.3 密閉系装置の洗浄
4.COP とCIP
4.1 COP
4.2 CIP
4.2.1 洗浄前の残留物の回収
4.2.2 CIP の基本
4.2.3 洗浄時の監視項目
5.洗浄結果の評価
5.1 洗浄結果の評価
5.2 機器本来の洗浄性の評価
第2項 半導体
1.半導体ウェーハ洗浄の必要性
2.従来のウェーハ洗浄技術
3.純水ベースの洗浄技術
4.枚葉洗浄と槽(バッチ)洗浄
5.特殊薬液による洗浄
6.乾燥技術
7.現在の洗浄技術の問題点と新技術への期待
第3項 自動車部品の洗浄技術
1.洗浄工程設計の考え方
1.1 洗浄の目的
1.2 洗浄工程設計の手順
1.3 洗浄方式の特徴
2.自動車部品洗浄の技術動向
2.1 環境調和型洗浄
2.2 水の相転移を利用した物理洗浄システム
2.2.1 ベーパージェット洗浄
2.2.2 急冷ベーパージェット洗浄( 超音速蒸気流洗浄)
2.3 低沸点溶剤を用いた化学洗浄システム
2.3.1 低沸点溶剤洗浄
2.3.2 Co-Solvent 洗浄
2.4 自動車部品の洗浄技術まとめ
3.自動車部品の清浄度検査手法
3.1 粒子個数
3.2 粒子重量
3.3 付着油分
3.4 付着イオン
4.洗浄工程の管理技術
4.1 清浄度品質規格
4.2 洗浄浴の汚染度
4.3洗浄エネルギーの設計
第５章 洗浄の評価
第1節 洗浄評価の概論と各種汚れの定量化手法
1.現場的判定法
1.1簡易的判定法
1.2定量的評価法
1.2.1 重量法
1.2.2 吸光度法
1.2.3 接触角法
2.機器による判定法
2.1粒子の計測及び同定
2.2膜状有機汚染物質の同定
2.3膜状無機汚染物質の同定
第2節 各種清浄度評価
1.水の接触角を利用した簡易定量評価法の確立
1.1 洗浄度評価用標準試験片の作製
1.2 汚染物付着量測定
1.3 クリーンルーム内の自然汚染の影響
1.4 汚染物付着量と接触角の相関性
1.5 標準試験片の洗浄
2.水晶振動子マイクロバランス（QCM）システムを用いた水系洗浄プロセスの評価
2.1 実験系の確立
2.2 洗浄現場のモデル系でのQCMを用いた洗浄実験
2.3 結果と考察
3.紫外領域蛍光顕微鏡の開発
3.1 プレス加工油の蛍光スペクトル
3.2 紫外領域蛍光顕微鏡の開発
第3節 洗浄検査の自動化と信頼性向上
1.開発背景
2.洗浄後の残留物の検査方法
3.基本構成
4.ソフトウェアの特徴
第６章 洗浄の実務
第1節 洗浄水の種類と洗浄に及ぼす影響
1.超純水
1.1 超純水の水質
1.2 超純水の製造方法
2.機能水
2.1 機能水の意義
2.2 水素水
2.2.1 水素水の製造技術
2.2.2 水素水による微粒子除去
2.2.3 水素水による基板表面の酸化腐食抑制
2.3 オゾン水
2.3.1 電子デバイス製造向けオゾン水の製造方法
(a)オゾン発生方法
(b)オゾン溶解方法
(c)オゾンの自己分解
2.3.2 オゾン水による基板洗浄事例
2.4 その他の機能水
2.4.1 電解水
2.4.2 炭酸水、希薄アンモニア水
第2節 基本装置の洗浄法
1.配管洗浄の原則
2.タンクの洗浄
3.プレート式熱交換器の洗浄
4.キャビテーション洗浄法の紹介
第3節 複雑な付着を洗浄する際の注意点
1.加熱式殺菌機の高温部の対策
2.バイオフィルムの注意点
3.洗浄しにくいコーヒーと紅茶の対策
第4節 表面改質による防汚と洗浄の簡略化
1.防汚と洗浄
2.表面改質と油汚れの洗浄性のモデル計算
3.PET の表面改質と洗浄
3.1 アクリル酸のグラフトによるPET の表面親水化
3.2 表面自由エネルギー変化と洗浄性
3.3 含フッ素ブロックポリマーによるPET の表面疎水( 疎油) 化
3.4 PET のFLIP-FLOP 加工
4.防汚性の実務的な評価
5.色々な素材の防汚コーティング
5.1 金属
5.2 ガラス＆セラミック
5.3 防汚塗料
6.超撥水、超撥油
7.その他の防汚加工
第5節 工業洗浄剤に関する法規制の動向と対応
1.工業洗浄剤への法規制の潮流と背景
2.工業洗浄剤の環境問題の最新動向
3.VOC 対策含む大気汚染・土壊汚染・水質汚濁問題への対応
4.地球環境問題( オゾン層破壊・地球温暖化問題) への対応
5.健康保護( 健康リスク問題) への対応
6.工業洗浄剤に関する法規制の動向と対応のまとめ
7.工業洗浄剤の使用・管理の実施に際して
第6節 洗浄液の安全対策・管理法
1.洗浄液の安全対策
1.1 洗浄剤の情報
1.2 洗浄液の安全対策例
1.2.1 水系洗浄剤の安全対策
1.2.2 準水系洗浄剤の安全対策
1.2.3 非水系洗浄剤の安全対策
2.洗浄液の管理法
2.1 洗浄液の経時変化と管理方法
2.2 洗浄液の管理分析方法
