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レポートナンバー 0000004269

特許情報分析(パテントマップ)から見た 半導体露光装置 技術開発実態分析調査報告書

株式会社パテントテック社

発刊日 2011/11/15

言語日本語

体裁A4/244ページ

ライセンス/価格244ページ

0000004269

A4版 42,210 円(税込)

※販売価格欄に記載されている金額は「書籍版」または「PDF」単独での価格です。
※CD-ROM版 販売価格:60,210円(税込)
※CD-ROM版収録内容:書籍(PDF)とパテントマップViewer(閲覧ソフト)およびパテントマップ・チャート(パテントマップEXZデータ)

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レポート概要

■本誌の特徴等

1. 調査目的
 「半導体露光装置」に関する公開件数、発明者、および特許分類などに対し、時系列推移、技術分布図など様々な観点から分析したパテントマップおよび、パテントチャートを作成し、
 (1)どの関連企業にどのような技術の公開があるか、
 (2)各企業の技術開発動向はどのように推移しているか、
 (3)最近注目する技術は何なのか、
 (4)各企業間の連携状況はどのようになっているか、
等を明確にして、今後の開発の指針決定に役立てようとするものである。

2.特許情報の収集と処理
 本調査報告書は、「半導体露光装置」に関する過去10年間(国内公開日:2001年〜2010年)に及ぶ公開特許について、「特許検索ASPサービス SRPARTNER」((株)日立システムズ 製)を使用し、検索、収集した。また、報告書作成には、パテントマップ作成支援ソフト 「パテントマップEXZ」(インパテック(株)製)を使用した。特許情報公報の総数は39,296件である。

3. 報告書の構成
 本報告書は、以下の三つの部分から構成されている。

1. パテントマップ編
 A. 全般分析
 B. 詳細(出願人、特許分類、キーワード)分析
  ※キーワード(発明の名称、要約、請求の範囲から抽出)においては、
   下記5グループの観点からも分析を行った。
   (1)露光種類系キーワード(紫外線露光・光露光、密着露光など13個)
   (2)露光制御系キーワード(光線、露光量など13個)
   (3)手段・装置系キーワード(基板処理手段・装置など20個)
   (4)目的・効果系キーワード(高精度、容易など18個)
   (5)基板系キーワード(ガラス基板、シリコン基板など13個)

2. パテントチャート編

3. 総括コメント

4. 本報告書の特徴
 ● 「半導体露光装置」の技術動向が分かりやすく把握できる
 ● パテントマップおよびパテントチャートで視覚的に理解しやすい
 ● パテントマップViewer(添付ソフト)により、パテントマップおよびパテントチャートの
   当該部分に含まれる特許の詳細内容を調べることができる

レポート詳細

目次

はじめに

調査分析結果

1.パテントマップ編
A.全般分析
 A-1.全体の技術開発ライフサイクル
 A-2.公開件数の推移(年次と累計)
 A-3.出願人数の推移(年次と累計)
 A-4.新規発明者数の推移(年次と累計)
 A-5.新規FIメイングループ分類数の推移(年次と累計)
 A-6.新規FIサブグループ分類数の推移(年次と累計)
 A-7.新規Fターム分類数の推移(年次と累計)
 A-8.出願人別公開件数ランキング(上位100)
 A-9.発明者別公開件数ランキング(上位50)
 A-10.FIメイングループ分類別公開件数ランキング(上位50)
 A-11.FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位100)
 A-12.Fタームテーマコード分類別公開件数ランキング(上位50)
 A-13.Fターム分類別公開件数ランキング(上位100)
 A-14.1位Fタームテーマコード(5F146) の技術分類別件数(観点×数字)
 A-15.2位Fタームテーマコード(2H025) の技術分類別件数(観点×数字)
 A-16.発明者別公開件数グロスランキング(上位20)
 A-17.出願人別参入・撤退状況(最近40、公開件数5件以上)
 A-18.FIメイングループ分類別出現・消失状況(公開件数上位40)
 A-19.FIサブグループ分類別出現・消失状況(公開件数上位40)
 A-20.Fターム分類別出現・消失状況(最近40、公開件数5件以上)
 A-21.出願人別公開件数伸長率(上位50、件数差15件以上)
 A-22.発明者別公開件数伸長率(上位50、件数差35件以上)
 A-23.FIメイングループ分類別公開件数伸長率(上位50、件数差7件以上)
 A-24.FIサブグループ分類別公開件数伸長率(上位50、件数差10件以上)
 A-25.Fターム分類別公開件数伸長率(上位50、件数差600件以上)
 A-26.FIメイングループ分類別発明者数伸長率(上位50、発明者数差20名以上)
 A-27.FIサブグループ分類別発明者数伸長率(上位50、発明者数差25名以上)
 A-28.Fターム分類別発明者数伸長率(上位50、発明者数差500名以上)

B.詳細(出願人、特許分類、キーワード)分析
 B-1.上位20出願人比較分析
  B-1-1.公開件数比較(期間着目:2期間+全体)
  B-1-2.公開件数の推移(累計)
  B-1-3.共同出願人数の推移(累計)
  B-1-4.新規発明者数の推移(累計)
  B-1-5.新規FIメイングループ分類数の推移(累計)
  B-1-6.新規FIサブグループ分類数の推移(累計)
  B-1-7.新規Fターム分類数の推移(累計)
  B-1-8.新規キーワード数の推移(累計)
  B-1-9.上位20FIメイングループ分類との公開件数相関
  B-1-10.上位20FIサブグループ分類との公開件数相関
  B-1-11.上位20Fターム分類との公開件数相関
  B-1-12.Fタームテーマコード分類ランキング2位と3位における公開件数比較
  B-1-13.種類系キーワードとの公開件数相関
  B-1-14.露光制御系キーワードとの公開件数相関
  B-1-15.手段・装置系キーワードとの公開件数相関
  B-1-16.目的・効果系キーワードとの公開件数相関
  B-1-17.基板系キーワードとの公開件数相関
  B-1-18.露光種類系キーワードとの発明者数相関
  B-1-19.露光制御系キーワードとの発明者数相関
  B-1-20.手段・装置系キーワードとの発明者数相関
  B-1-21.目的・効果系キーワードとの発明者数相関
  B-1-22.基板系キーワードとの発明者数相関
  B-1-23.公開件数占有率
  B-1-24.公開件数の伸びと1位Fターム分類[2H025AB16]に関する構成率比較
  B-1-25.発明者数*FIサブグループ分類数の比較

 B-2.上位5出願人個別分析
  B-2-1-*.FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
  B-2-2-*.Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
  B-2-3-*.FIサブグループ分類別公開件数の推移(上位20、累計)
  B-2-4-*.Fターム分類別公開件数の推移(上位20、累計)
  B-2-5-*.FIサブグループ分類別出現・消失状況(最近40)
  B-2-6-*.キーワード別出現・消失状況(最近40、公開件数5件以上)
  B-2-7-*.独自FIサブグループ分類別公開件数ランキング
  B-2-8-*.独自キーワード別公開件数ランキング(上位50)
  B-2-9-*.共同出願人との連携
  注:*は、上位5出願人が該当。

 B-3.ニコン、キヤノン2社分析
  B-3-1.2社の上位10FIサブグループ分類別公開件数の推移(年次)
  B-3-2.2社のニコン上位10FIサブグループ分類別公開件数比較
  B-3-3.2社のキヤノン上位10FIサブグループ分類別公開件数比較
  B-3-4.2社のFIサブグループ分類別出現・消失状況(公開件数上位20)
  B-3-5.2社のFターム分類別出現・消失状況(公開件数上位20)
  B-3-6.ニコンの公開件数伸長率変遷
  B-3-7.キヤノンの公開件数伸長率変遷
  B-3-8.2社とFターム分類(上位20)との公開件数相関
  B-3-9.Fターム分類別公開件数グロスランキング(上位10)

 B-4.上位特許分類分析
  B-4-1.FIメイングループ分類別公開件数比較(上位20)(期間着目:2期間+全体)
  B-4-2.FIサブグループ分類別公開件数比較(上位20)(期間着目:2期間+全体)
  B-4-3.Fターム分類別公開件数比較(上位20)(期間着目:2期間+全期間)
  B-4-4.FIメイングループ分類別公開件数の推移(上位20、累計)
  B-4-5.FIサブグループ分類別公開件数の推移(上位20、累計)
  B-4-6.Fターム分類別公開件数の推移(上位20、累計)
  B-4-7.FIメイングループ分類別出願人数の推移(上位20、年次)
  B-4-8.FIサブグループ分類別出願人数の推移(上位20、年次)
  B-4-9.Fターム分類別出願人数の推移(上位20、年次)
  B-4-10.FIメイングループ分類別発明者数の推移(上位20、年次)
  B-4-11.FIサブグループ分類別発明者数の推移(上位20、年次)
  B-4-12.Fターム分類別発明者数の推移(上位20、年次)
  B-4-13.FIメイングループ分類別公開件数占有率(公開件数上位20)
  B-4-14.FIサブグループ分類別公開件数占有率(公開件数上位20)
  B-4-15.Fターム分類別公開件数占有率(公開件数上位20)

 B-5.特定特許分類分析
  B-5-1.特定FIサブグループ分類の公開件数の推移(年次)
  B-5-2.特定Fターム分類の公開件数の推移(年次)
  B-5-3.特定FIサブグループ分類の新規出願人数の推移(年次)
  B-5-4.特定Fターム分類の新規出願人数の推移(年次)
  B-5-5.特定FIサブグループ分類の新規発明者数の推移(累計)
  B-5-6.特定Fターム分類の新規発明者数の推移(累計)
  B-5-7.特定FIサブグループ分類H01L21/30の公開件数伸長率変遷
  B-5-8.特定FIサブグループ分類G03F7/20の公開件数伸長率変遷
  B-5-9.特定Fターム分類2H025AB16の公開件数伸長率変遷
  B-5-10.特定Fターム分類5F146BA03の公開件数伸長率変遷
  B-5-11.特定FIサブグループ分類H01L21/30の出願人別公開件数ランキング(上位50)
  B-5-12.特定FIサブグループ分類G03F7/20の出願人別公開件数ランキング(上位50)
  B-5-13.特定Fターム分類2H025AB16の出願人別公開件数ランキング(上位50)
  B-5-14.特定Fターム分類5F146BA03の出願人別公開件数ランキング(上位50)

 B-6.キーワード分析

  B-6-1.キーワード別公開件数ランキング(上位100)
  B-6-2.キーワード別出現・消失状況(最近200、公開件数10件以上)
  B-6-3.キーワード別公開件数の伸長率(上位50、件数差30件以上)
  B-6-4.露光種類系キーワードの公開件数の推移(累計)
  B-6-5.露光制御系キーワードの公開件数の推移(累計)
  B-6-6.手段・装置系キーワードの公開件数の推移(累計)
  B-6-7.目的・効果系キーワードの公開件数の推移(累計)
  B-6-8.基板系キーワードの公開件数の推移(累計)
  B-6-9.露光種類系キーワードの出願人数の推移(累計)
  B-6-10.露光制御系キーワードの出願人数の推移(累計)
  B-6-11.手段・装置系キーワードの出願人数の推移(累計)
  B-6-12.目的・効果系キーワードの出願人数の推移(累計)
  B-6-13.基板系キーワードの出願人数の推移(累計)
  B-6-14.露光種類系キーワードの新規発明者数の推移(累計)
  B-6-15.露光制御系キーワードの新規発明者数の推移(累計)
  B-6-16.手段・装置系キーワードの新規発明者数の推移(累計)
  B-6-17.目的・効果系キーワードの新規発明者数の推移(累計)
  B-6-18.基板系キーワードの新規発明者数の推移(累計)
  B-6-19.露光種類系キーワードの公開件数の伸びと構成率比較
  B-6-20.露光制御系キーワードの公開件数の伸びと構成率比較
  B-6-21.手段・装置系キーワードの公開件数の伸びと構成率比較
  B-6-22.目的・効果系キーワードの公開件数の伸びと構成率比較
  B-6-23.基板系キーワードの公開件数の伸びと構成率比較
  B-6-24.露光種類系キーワードと露光制御系キーワードの公開件数相関
  B-6-25.露光種類系キーワードと手段・装置系キーワードの公開件数相関
  B-6-26.露光種類系キーワードと目的・効果系キーワードの公開件数相関
  B-6-27.露光種類系キーワードと基板系キーワードの公開件数相関
  B-6-28.露光制御系キーワードと手段・装置系キーワードの公開件数相関
  B-6-29.露光制御系キーワードと目的・効果系キーワードの公開件数相関
  B-6-30.露光制御系キーワードと基板系キーワードの公開件数相関
  B-6-31.手段・装置系キーワードと目的・効果系キーワードの公開件数相関
  B-6-32.手段・装置系キーワードと基板系キーワードの公開件数相関
  B-6-33.目的・効果系キーワードと基板系キーワードの公開件数相関

2.パテントチャート編
 (1) 小松製作所の時系列チャート分析(2009年〜2010年)
 (2) 三菱電機の時系列チャート分析(2009年〜2010年)
 (3) 小松製作所の上位3FIメイングループ分類と上位3発明者の
    マトリクスチャート分析(2009年〜2010年)
 (4) 三菱電機の上位3FIメイングループ分類と上位3発明者の
    マトリクスチャート分析(2009年〜2010年)

3.総括コメント

<参考資料>
【資料1】出願人統合リスト
【資料2】パテントマップ・パテントチャートの種別と見方
【資料3】パテントマップ Viewer(添付ソフト)の使い方

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